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技術(shù)文章

半導(dǎo)體行業(yè)真空室內(nèi)被處理物體的溫度如何檢測(cè)?

半導(dǎo)體行業(yè)真空室內(nèi)被處理物體的溫度如何檢測(cè)?

用于測(cè)量真空室內(nèi)被處理物體的溫度。

透過(guò)窗戶測(cè)量的圖像

通過(guò)窗口測(cè)量真空層或容器內(nèi)的物體。

選型要點(diǎn)

Japan Sensor 產(chǎn)品提供范圍廣泛的測(cè)量距離和目標(biāo)尺寸。
我們擁有適用于各種應(yīng)用的產(chǎn)品陣容,例如最大 0.1ms 的高速響應(yīng)和 0°C 至 1350°C 和 90°C 至 2000°C 等寬范圍測(cè)量。

所選機(jī)型

  • 在惡劣環(huán)境和狹小空間也能自由使用的1ms光纖型
    半階型

    光纖式輻射溫度計(jì)FTKX系列

    測(cè)量溫度范圍:100°C至2000°C

    • 纖維型(耐熱磁場(chǎng))

    • 高溫

    • 用于通過(guò)石英

    • 0.1ms/1ms快速響應(yīng)

    • 用于金屬

  • 1ms 輻射溫度計(jì),規(guī)格可根據(jù)測(cè)量對(duì)象改變

    無(wú)纖維輻射溫度計(jì) FLHX 系列

    測(cè)量溫度范圍:90°C 至 2000°C

    • 高溫

    • 用于通過(guò)石英

    • 0.1ms/1ms快速響應(yīng)

    • 用于金屬

  • 金屬的高速測(cè)溫

    金屬用輻射溫度計(jì)
    TMHX-TME0050(H)系列

    測(cè)量溫度范圍:50°C至600°C

    • 用于金屬

    • 低溫

    • 用于通過(guò)石英

  • 金屬的高速測(cè)溫

    金屬用輻射溫度計(jì)
    TMHX-TME0050(E)系列
    小頭型

    測(cè)量溫度范圍:50°C至600°C

    • 用于金屬

    • 低溫

    • 用于通過(guò)石英

  • 甚至可以透過(guò)石英玻璃!

    穿透式石英輻射溫度計(jì)
    TMHX-CQE0500(H)系列
    小點(diǎn)型

    測(cè)量溫度范圍:50°C 至 500°C

    • 用于通過(guò)石英

    • 低溫

  • 甚至可以透過(guò)石英玻璃!

    穿透式石英輻射溫度計(jì)
    TMHX-CQE0500(E)系列
    小頭型

    測(cè)量溫度范圍:50°C 至 500°C

    • 用于通過(guò)石英

    • 低溫




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