小型單晶圓狹縫涂布機CSC-200的特點

1.注射器方式支持低粘度~高粘度，薄膜~厚膜
【應(yīng)用測試結(jié)果】
濕膜厚度 5μm~200μm
涂布液粘度 2cps~8000cps
2.分切模具的寬度為100mm，寬度為200mm，涂層寬度可通過墊片調(diào)節(jié)。
3.狹縫模具的平行度通過開口調(diào)節(jié)。

4.狹縫模具與基板之間的間隙以1μm的增量調(diào)整。
5.平臺采用多孔真空吸附方法，兼容薄膜和金屬箔。
6. CSC-100可以

安裝在手套箱中[關(guān)于涂層測試]
?如果您來辦公室，將免費進(jìn)行第一次演示測試。
?第二次及以后的測試和樣品制作將收費。
?也可進(jìn)行現(xiàn)場測試。
?如果您愿意，請與我們聯(lián)系。
【狹縫涂布機的技巧】
（1）根據(jù)涂布液的流量選擇最佳的狹縫寬度和出料速度

（2）根據(jù)出料速度調(diào)整涂布速度（載物臺移動速度）

（3） 根據(jù)薄膜厚度調(diào)整工件和模具之間的間隙并優(yōu)化提前時間