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產(chǎn)品資料
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日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆

產(chǎn)品名稱: 日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆
產(chǎn)品型號(hào): TVF-110
產(chǎn)品特點(diǎn): 日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆
手動(dòng)提升立式實(shí)驗(yàn)爐，適用于小至3英寸晶圓的小基板
cost低成本醉低要求的配置（手動(dòng)控制）適用于管式爐，擴(kuò)散爐，熱CVD。
主要用途
小樣本基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)在大學(xué)/公司實(shí)驗(yàn)室中的使用
半導(dǎo)體，太陽能電池，燃料電池，電子基板等的熱處理
基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)：用于氧化擴(kuò)散爐，LPCVD等的簡單熱處理實(shí)驗(yàn)。

日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆 的詳細(xì)介紹

日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆

 手動(dòng)提升立式實(shí)驗(yàn)爐，適用于小至3英寸晶圓的小基板
cost低成本醉低要求的配置（手動(dòng)控制）適用于管式爐，擴(kuò)散爐，熱CVD。
主要用途
小樣本基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)在大學(xué)/公司實(shí)驗(yàn)室中的使用
半導(dǎo)體，太陽能電池，燃料電池，電子基板等的熱處理
基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)：用于氧化擴(kuò)散爐，LPCVD等的簡單熱處理實(shí)驗(yàn)。

特性

  • 用戶友好，易于手動(dòng)操作
  • 簡單的配置非常適合基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)應(yīng)用
  • 我們可以提供低成本和醉低要求規(guī)格的設(shè)備。
  • 可以根據(jù)要求添加功能，我們將每次定制。
  • *作為標(biāo)準(zhǔn)配置，只有爐體（包括基座和垂直升降機(jī)構(gòu)）和溫度控制單元可用。
  • *不包括氣體引入/排出系統(tǒng)，氣體壓力控制，冷卻水控制等。我們將根據(jù)要求添加它。
 
   
   
 

主要規(guī)格


[電爐部分] 
醉高工作溫度 醉高1200℃（*加熱器溫度，正常醉高1100℃）醉高950℃（板溫）
加熱器
 地暖1區(qū)1.5KW
 
爐
 陶瓷成型品Φ290x 300L（分體式） 
 
案件 鋁殼開合式
熱電偶 用于控制，過熱檢測(cè)：K型護(hù)套熱電偶（2對(duì)）
溫度測(cè)量用熱電偶 Φ0.65mmK線型帶絕緣管1500L
溫度控制 PID溫度控制器可控硅控制
 
   
 
[爐芯管/石英夾具部分] 
芯管 Φ100xΦ95x 470L毫米
緩沖
 234H xΦ86屏蔽x 2層
 
感受器
 Φ86x t5毫米（帶上下桿）x 2至3步
 
熱電偶保護(hù)管 Φ8xΦ6x 660L毫米
 
   
 
[基座/底座法蘭向上/向下] 
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) 手動(dòng)型（旋轉(zhuǎn)手柄）
中風(fēng)
 Max300mm（基座）Max500mm（基礎(chǔ)法蘭）帶限位器，帶有任意垂直限位器
 
 
   
   
 

外型尺寸

 日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆

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