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產(chǎn)品資料
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ARK led光源芯片周邊曝光用

產(chǎn)品名稱: ARK led光源芯片周邊曝光用
產(chǎn)品型號(hào): EW01S
產(chǎn)品特點(diǎn): ARK led光源芯片周邊曝光用
適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。
不僅可以安裝在新裝置上，而且從當(dāng)前使用的UV燈光源更換也很方便。

ARK led光源芯片周邊曝光用 的詳細(xì)介紹

ARK led光源芯片周邊曝光用

ARK led光源芯片周邊曝光用

適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。
不僅可以安裝在新裝置上，而且從當(dāng)前使用的UV燈光源更換也很方便。通過搭載UV-LED，可降低耗電量、降低環(huán)境負(fù)荷、延長發(fā)光源壽命，并且不需要機(jī)械相關(guān)的消耗部件，從而大大降低客戶的運(yùn)行成本。

仕様

項(xiàng)目內(nèi)容
使用環(huán)境溫度5～40度（無結(jié)露。）
電源電圧單相100～240V
電源周波數(shù)50/60赫茲
發(fā)光峰值波長365±5nm
光出力安定度+/-5%以內(nèi)
初期紫外線強(qiáng)度2000mw/cm2以上（在365nm，距掩模0.5mm的距離）
強(qiáng)度分布的均勻性10%以下（4x）5mm區(qū)域）
紫外線発光源紫外發(fā)光二極管
紫外線発光源壽命20000小時(shí)（推定壽命驅(qū)動(dòng)電流最大時(shí)）※紫外線強(qiáng)度為初期50%以上的點(diǎn)燈累計(jì)時(shí)間
照射ON/OFF功能UV-LED的ON/OFF控制（通過遠(yuǎn)程及手動(dòng)控制點(diǎn)亮/熄滅）
光量調(diào)整機(jī)能UV-LED的電流調(diào)整光量調(diào)整范圍為20～100%
外裝材質(zhì)不銹鋼
外形寸法150毫米×200毫米×192毫米

芯片周邊曝光用EW01S

適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。
不僅可以安裝在新裝置上，而且從當(dāng)前使用的UV燈光源更換也很方便。
通過搭載UV-LED，可降低耗電量、降低環(huán)境負(fù)荷、延長發(fā)光源壽命，并且不需要機(jī)械相關(guān)的消耗部件，從而大大降低客戶的運(yùn)行成本。



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